PAP(Plasma Assisted Polishing プラズマ援用研磨法)とは、プラズマを利用して表面を活性化し研磨する技術であり、特にダイヤモンドなどの硬質材料の研磨に特化しています。従来のダイヤモンド砥粒を用いた機械研磨に比べて、高効率でありながら、加工変質層が生じません。この技術は、今後パワーデバイスとして注目されるダイヤモンド基板の研磨工程において大きな期待を集めています。

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