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- 機器開発
プラズマCVM(プラズマ化学的気相加工法)
Plasma Chemical Vaporization Machining(通称:PCVM)
プラズマCVMは、ナノレベルの加工精度と、加工変質層を生じさせない(加工物表面にダメージを与えない)という優れた特徴を持つ技術です。ジェイテックコーポレーションは、プラズマCVM技術を駆使し、半導体・水晶ウェハの平坦化加工において革新的なソリューションを提供しています。
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