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プラズマCVM特設ページ(英語・中国語)が公開されました
- 機器開発
プラズマCVM(プラズマ化学的気相加工法)
Plasma Chemical Vaporization Machining(通称:PCVM)
プラズマCVMは、ナノレベルの加工精度と、加工変質層を生じさせない(加工物表面にダメージを与えない)という優れた特徴を持つ技術です。ジェイテックコーポレーションは、プラズマCVM技術を駆使し、半導体・水晶ウェハの平坦化加工において革新的なソリューションを提供しています。
ぜひ、以下のリンクからご覧ください。
Plasma CVM special page (English and Chinese) is now available.
Plasma Chemical Vaporization Machining / Plasma CVM
Plasma CVM technology offers exceptional nano-level machining accuracy without altering the workpiece surface. JTEC Corporation delivers innovative solutions for planarizing semiconductor and quartz wafers using plasma CVM technology.
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我們推出了等離子化學氣相加工 (PCVM) 的中英文專頁
等離子化學氣相加工
Plasma Chemical Vaporization Machining(PCVM)
等離子化學氣相加工是一種具備奈米級的加工精度、無加工改變層(不傷害工件表面)等優點的加工技術。 JTEC Corporation 使用等離子化學氣相加工技術,在半導體和石英晶圓的平坦化加工方面提供創新的解決方案。
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