X線ミラー反射面において、反射するX線のエネルギー(波長)に合わせたコーティングが必要となります。当社では、最長1mのX線ミラーまで対応したナノメートルサイズの膜厚分布での各種コート材料によるコーティングを可能としています。また、ご使用によりコーティング面が汚染した場合でも、ミラー反射面のコーティングを剥離したうえで新たにコーティングを行うことができます。
石英基板ミラーへの
Rh(ロジウム)コーティング
シリコン基板ミラーへの
Rh(ロジウム)コーティング
コーティングの主な仕様
| コーティング材料 | Pt, Au, Rh, Pd, Ag, Ni, C, B4C, Cr など、主要なコーティング材料 |
|---|---|
| コーティング可能サイズ | 最長1000mm(ビーム方向) |