モンテルミラー

KBミラーは縦方向と横方向を別々の楕円ミラーを光軸に対して前後に並べる必要があるため、必然的にそれぞれの縮小倍率が異なってしまいます。モンテルミラーは、まったく同じ楕円形状を持つ2つのミラーを隣り合わせに組み合わせて、接合部近傍をミラー領域とすることで、縦と横の縮小倍率が同じ2次元集光を実現できます。当社のモンテルミラーは海外の放射光施設で集光径50nmを達成しました。